?。?strong>上海儀表三廠 儀表研發(fā)）近日,，中國電科38所發(fā)布自主研制的新一代無損檢測設(shè)備——“超級針”X射線成像系統(tǒng)，這是全國首臺“超級針”X射線成像系統(tǒng),。該系統(tǒng)擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測能力,，成像分辨率小于1微米。
隨著集成電路向高集成度,、微型化方向發(fā)展,，先進(jìn)封裝工藝對封裝檢測設(shè)備提出新的需求和挑戰(zhàn)。一方面,，更精細(xì)的封裝尺度要求設(shè)備分辨率提升至亞微米級,，但目前國際上可生產(chǎn)亞微米級分辨率設(shè)備的廠商屈指可數(shù)；另一方面,，隨著芯片制造及封裝過程中越來越多地使用硅,、鋁、銅,、陶瓷等輕元素材料,，對輕元素材料的檢測需求日益凸顯，對設(shè)備檢測范圍提出了更高要求,。因此,，更高分辨率、更高對比度,、更大檢測范圍的X射線檢測設(shè)備，已成為集成電路封裝檢測行業(yè)發(fā)展的迫切需要,。
微焦點X射線成像系統(tǒng)是工業(yè)無損檢測的常規(guī)必備設(shè)備,，廣泛應(yīng)用于集成電路、電子器件等各種器材的無損檢測,，能夠觀察物體內(nèi)部的精細(xì)結(jié)構(gòu),，其中X射線源的性能則直接決定了此類設(shè)備的檢測能力。超級針是一種理論上的最佳電子源,。
2011年,，中國電科38所首次提出將超級針應(yīng)用于微焦點X射線源的開發(fā),。經(jīng)過近十年的技術(shù)攻關(guān)，超級針X射線成像系統(tǒng)最終順利問世,。目前,，中國電科38所針對該產(chǎn)品已申請30余項國內(nèi)外發(fā)明專利，其中申請美,、日,、歐等國際專利12項。
“超級針”X射線成像系統(tǒng)采用獨特的“超級針”X射線源專利技術(shù),，可在圖像增強(qiáng)器上形成被掃描物體的透視圖像,。該設(shè)備采用全國首創(chuàng)的“超級針”X射線源，因而以“超級針”冠名,，具有成像清晰,、性能穩(wěn)定、潔凈度高,、超低輻射,、低能成像等優(yōu)點。
中國電科38所相關(guān)負(fù)責(zé)人表示,，基于超級針X射線源技術(shù),，可面向集成電路、軍工航天,、汽車電子,、醫(yī)療診斷等不同應(yīng)用領(lǐng)域，開發(fā)系列超級針X射線成像設(shè)備,，實現(xiàn)產(chǎn)品系列化,、多樣化開發(fā)，未來具有較大發(fā)展前景,。
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